Зондовая сканирующая Оже микроскопия (ASPM) - разновидность сканирующей электронной микроскопии, основанная на эффекте ОЖЕ - (излучение достаточно высокой энергии может «выбить» электрон с одной из внутренних оболочек атома). Получающееся состояние неустойчиво, вакансия заполняется переходом электрона с одной из внешних оболочек. Выделяющаяся при этом энергия может быть передана третьему электрону (Оже-электрону), который покидает атом. Метод очень чувствителен к состоянию поверхности образца, более информативен при составлении карт распределения легких элементов (что затруднительно при использовании рентгеновских методов). Обеспечивает очень высокое поперечное разрешение (локальность) изображения. Благодаря использованию ионной пушки, позволяет получать качественные изображения объектов, накапливающих статический заряд. Позволяет исследовать приповерхностные (до 6-8 нм) слои образца.
Оборудование: Оже-микрозонд Jeol JAMP-9500F
По вопросам проведения исследований обращаться по телефону +7 (843) 227-40-93
